| 产品特性：优质、进口 | 是否进口：否 | 产地：日本 |
| 类型：激光共聚焦 | 品牌：Olympus/奥林巴斯 | 型号：OLS5100 |
| 目镜放大倍数：无 | 物镜放大倍数：5X、10X、20X、50X、100X | 仪器放大倍数：54X-17280X |
| 重量：43kg | 适用范围：5G通讯光伏太阳能电池等 | 装箱数：1 |
| 加工定制：是 | 规格：1 |
LEXT? OLS5100 3D激光扫描显微镜
用于材料分析的激光显微镜
更智能的工作流程，更快速的实验设计
适用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光显微镜将测量精度和光学性能与智能工具相结合，让显微镜更加方便使用。通过快速高效***测量亚微米级形状和表面粗糙度的可靠数据简化您的工作流程。
***测量准确度
LEXT显微镜物镜可提供高度准确的测量数据。与智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）搭配使用，就可获得可靠的高精度数据。
有***的测量准确度*
奥林巴斯的光学器件能够以***像差在整个视场中捕捉样品的真实形貌
智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）还可帮助您选择合适的物镜进行粗糙度测量
型号 | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | |
总倍率 | 54x–17,280x | ||||
视场 | 16 ?m–5,120 ?m | ||||
测量原理 | 光学系统 | 反射式共焦激光扫描激光显微镜 | |||
光接收元件 | 激光：光电倍增管（2通道） | ||||
高度测量 | 显示分辨率 | 0.5 nm | |||
动态范围 | 16位 | ||||
重复性σn -1*1 *2 *5 | 5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X：0.03 μm, 50X：0.012 μm, 100X：0.012 μm | ||||
准确度*1 *3 *5 | 0.15 + L / 100μm（L：测量长度[μm]） | ||||
拼接图像准确度*1 *3 *5 | 10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接长度[μm]) | ||||
测量噪声（Sq噪声）*1 *4 *5 | 1 nm（典型值） | ||||
宽度测量 | 显示分辨率 | 1 nm | |||
重复性3σn-1 *1 *2 *5 | 5X：0.4 μm, 10X：0.2 μm, 20X：0.05 μm, 50X：0.04 μm, 100X：0.02 μm | ||||
准确度*1 *3 *5 | 测量值+/- 1.5% | ||||
拼接图像准确度*1 *3 *5 | 10X：24+0.5L μm, 20X：15+0.5L μm, 50X：9+0.5L μm, 100X：7+0.5L μm (L：拼接长度[mm]） | ||||
单次测量时测量点数量 | 4096 × 4096像素 | ||||
测量点数量 | 3600万像素 | ||||
XY载物台配置 | 长度测量模块 | ? | 不适用 | 不适用 | ? |
工作范围 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手动 | 300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 电动 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动 | |
样品高度 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) | 30 mm (1.2 in.) | 30 mm (1.2 in.) | 210 mm (8.3 in.) | |
激光光源 | 波长 | 405 nm | |||
输出 | 0.95 mW | ||||
激光等级 | 2级（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014） | ||||
彩色光源 | 白光LED | ||||
电气功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | |
质量 | 显微镜主体 | 约 31 kg | 约 32 kg | 约 50 kg | 约 43 kg |
控制箱 | 约 12 kg |
*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境下使用时提供***（温度：20?C±1?C，湿度：50％±10%），如ISO554（1976）、JIS Z-8703（1983）所规定。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物镜测量时倍率20x或更高。
*3 在使用专用LEXT物镜测量时。
*4使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值。
*5 基于奥林巴斯认证系统下的***。
物镜
系列 | 型号 | 数值孔径 | 工作距离（WD） |
UIS2物镜 | MPLFLN2.5x | 0.08 | 10.7 |
MPLFLN5x | 0.15 | 20 | |
专用LEXT物镜（10X） | MPLFLN10xLEXT | 0.3 | 10.4 |
专用LEXT物镜（高性能型） | MPLAPON20xLEXT | 0.6 | 1 |
MPLAPON50xLEXT | 0.95 | 0.35 | |
MPLAPON100xLEXT | 0.95 | 0.35 | |
专用LEXT物镜（长工作距离型） | LMPLFLN20xLEXT | 0.45 | 6.5 |
LMPLFLN50xLEXT | 0.6 | 5.2 | |
LMPLFLN100xLEXT | 0.8 | 3.4 | |
超长工作距离物镜 | SLMPLN20x | 0.25 | 25 |
SLMPLN50x | 0.35 | 18 | |
SLMPLN100x | 0.6 | 7.6 | |
适用于LCD样品的长工作距离物镜 | LCPLFLN20xLCD | 0.45 | 8.3-7.4 |
LCPLFLN50xLCD | 0.7 | 3.0-2.2 | |
LCPLFLN100xLCD | 0.85 | 1.2-0.9 |
应用软件
标准软件 | OLS51-BSW |
数据采集app | 分析应用程序（简单分析） |
电动载物台套件应用*1 | OLS50-S-MSP |
***分析应用*2 | OLS50-S-AA |
薄膜厚度测量应用 | OLS50-S-FT |
自动边缘测量应用 | OLS50-S-ED |
颗粒物分析应用 | OLS50-S-PA |
智能实验管理助手应用 | OLS51-S-ETA |
球体/圆柱体表面角度分析应用 | OLS50-S-SA |
*1包括自动拼接数据采集和多区域数据采集功能。
*2包括轮廓分析、差值分析、台阶高度分析、表面分析、面积/体积分析、线粗糙度分析、面粗糙度分析和直方图分析。
